Стали для измерительных инструментов должны характеризоваться высокой износостойкостью, постоянной формой и размерами в течение длительного времени эксплуатации и хорошей обрабатываемостью. Мерный инструмент чаще всего изготавливают из углеродистых инструментальных сталей марок У8…У12, легированных инструментальных сталей марок X, 9ХВГ, 12X1, цементированных конструкционных углеродистых сталей марок 15, 20. Для обеспечения высокой твердости и износостойкости инструменты закаливают в масле. Закаленная высокоуглеродистая сталь при комнатной температуре подвергается естественному старению, которое характеризуется:
1)распадом мартенсита и уменьшением объема;
2)распадом остаточного аустенита и увеличением объема;
3)возникновением пластических деформаций и перераспределением остаточных напряжений.
Чтобы не допустить изменений объема и линейных размеров инструмента, закаленную сталь подвергают низкотемпературному отпуску при температуре 120...170 °С в течение 10...30 ч. Это предотвращает распад мартенсита в течение всего периода эксплуатации инструмента. Инструменты, от которых требуют особо высокой точности, перед отпуском дополнительно охлаждают при температуре -50…-80 °С для того, чтобы избавиться от остаточного аустенита.